一：产品参数

1． 产品名称：微型真空探针热台

2． 产品型号：KT-0904T-RL

3． 产品品牌：郑科探  Zhengketan

4． 生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司

二：功能要求

  探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
   该探针台的承载台为26X26mm不锈钢台面，台面可升温到-190~350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0-13mm,y方向调节范围：0-13mm；z方向调节范围：0-13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测

三：主要技术要求

1． 类型：高低温型：-190~350℃  （高温型：室温～400℃选配）

2． 腔体材质：304不锈钢

3． 腔体内尺寸：φ90x40mm

4． 腔体上视窗尺寸：Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）

5． 腔体抽气口：KF16

6． 腔体进气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

7． 腔体出气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

8． 腔体正压：≤0.05MPa

9． 腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

10． 样品台材质：304不锈钢

11． 样品台尺寸：26X26mm

12． 样品台-视窗 距离：30mm（可选凹视窗间距15mm）

13． 样品台测温传感器：A级PT100铂电阻

14． 样品台温度：室温到-190~350℃（可选高温样品台 高温400℃）

15． 样品台测温误差：±0.2℃

16． 样品台变温速率：高温10℃/min    低温5℃/min  值

17． 温度显示：7寸人机界面

18． 温控类型：标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）

19． 温度分辨率：0.1℃

20． 温控精度：±0.5℃

21． 温度信号输入类型：PT100热电阻 （可选 K  S  B型热电偶）

22． 温控输出：直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）

23． 辅助功能：温度数据采集并导出  实时温度曲线+历史温度曲线

24． 电信号接头：配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头  香蕉插头  线长1.2米

25． 电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤200V  电流噪声 ≤10pA

26． 探针数量：4探针（可定做6探针）

27． 探针材质：镀金钨针

28． 探针尖：10μm

29． X轴移动行程：12mm    ±6mm

30． X轴控制精度：≤5μm

31． Y轴移动行程：12mm    ±6mm

32． Y轴控制精度：≤5μm

33． Z轴移动行程：12mm    ±6mm

34． Z轴控制精度：≤5μm

35． 显微镜类别：物镜放大+电子放大

36． 显微镜放大倍数：100倍

37． 显微镜工作间距：50-150mm

38． 相机分辨率：1080P  60帧

39． 相机信号输出：HDMI输出+USB输出

40． LED可调光源：LED光源

41． 显示屏：5寸 屏幕一体机

四：主要配置要求

1．1台 · KT-0904T-RL微型探针台一台

2．1台 · 触摸屏温控箱

3.  1个· 6mm聚四氟管

4.  1根  电源线

5:  2个  6mm金属内衬

6： 1根  触摸屏笔

7： 4个  SMA-香蕉插头

8： 1根  功率输出线

9:   6米  6mm水冷管

10： 1套  K型上盖扳手、备用螺丝，内六角

选配: 分子泵真空机组  机械泵  电子显微镜